据台湾“中时新闻网”1月21日报道，台湾南部21日0时17分发生规模6.4级地震，深度仅9.7公里，其中台南1.5小时内就发生26起地震，台积电位于台南科学园区的厂区也紧急疏散。

  报道称，台积电指出，部分厂区达到疏散标准，以人员安全为第一优先，依紧急应变程序进行人员室内及室外疏散与清点中；业内人士透露，在地震发生后，目前全台供应链以及工程师已经陆续前往台积电受影响厂区抢救，希望尽早恢复产能。

  另据台湾联合新闻网1月21日报道，受地震影响，台积电台南科学园区的先进制程产线被迫停机，联电、群创等大厂也都停机。南科管理局表示，稍早前询问园区厂商都回复因状况复杂，还在设法抢救复机，目前还没办法掌握恢复状况与损失程度，可能厂商在处理完成后会发布重大信息说明。

  南科管理局表示，虽然这次地震对园区厂商造成全面影响，但到目前为止并没发生因地震造成任何厂区火灾与电力系统失效、供水管线受损等园区公共设施的“衍生性灾情”，已经是“不幸中的大幸”。

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